[24a-E202-1~10] 15.4 III-V-group nitride crystals

[24a-E202-3] Polarity Determination of Multilayer Polarity Inverted AlN Using Inclined-Plane KOH Etching

〇Yusuke Hayashi¹, Yudai Nakanishi¹, Tetsuya Tohei¹, Kenjiro Uesugi^2,3, Kanako Shojiki⁴, Hideto Miyake^3,4, Akira Sakai¹ (1.Grad. Sch. Eng. Sci., Osaka Univ., 2.SPORR, Mie Univ., 3.Grad. Sch. RIS, Mie Univ., 4.Grad. Sch. Eng., Mie Univ.)

Keywords:AlN

AlNは深紫外～赤外波長の広帯域で動作する波長変換材料として有望である。スパッタアニール法により多層極性反転AlNが実現されており、横モード位相整合波長変換デバイスへの応用が検討されてきた。極性の判定方法としてKOHエッチング法やTEM-CBED・HAADF-STEMが一般に用いられている。前者は簡易だが膜表面の極性判定に限定され、後者は各層の極性を判定できるが断面TEM試料を加工する必要があった。本研究では、この中間に位置する手法として傾斜面KOHエッチング法を提案する。FIBによるエッチングでc面から傾斜した面を形成し、KOH処理後にSEM観察することでエッチングの有無により極性を判定できる。