[24a-E202-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[24a-E202-3] 多層極性反転AlNの傾斜面KOHエッチングによる極性判定

〇林 侑介¹、中西 悠太¹、藤平 哲也¹、上杉 謙次郎^2,3、正直 花奈子⁴、三宅 秀人^3,4、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ、4.三重大院工)

キーワード：AlN

AlNは深紫外～赤外波長の広帯域で動作する波長変換材料として有望である。スパッタアニール法により多層極性反転AlNが実現されており、横モード位相整合波長変換デバイスへの応用が検討されてきた。極性の判定方法としてKOHエッチング法やTEM-CBED・HAADF-STEMが一般に用いられている。前者は簡易だが膜表面の極性判定に限定され、後者は各層の極性を判定できるが断面TEM試料を加工する必要があった。本研究では、この中間に位置する手法として傾斜面KOHエッチング法を提案する。FIBによるエッチングでc面から傾斜した面を形成し、KOH処理後にSEM観察することでエッチングの有無により極性を判定できる。