[24a-E303-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[24a-E303-8] 色分離メタレンズを用いたイメージセンサ：貼り合わせ実装による実現

〇宮田 将司¹、竹原 浩成²、鹿間 光太¹、根本 成¹、太田 淳²、橋本 俊和¹ (1.NTT先端集積デバイス研、2.奈良先端大)

キーワード：メタレンズ、イメージセンサ、メタサーフェス

一般的なイメージセンサでは，画素毎に集積されたカラーフィルタでの光吸収により，受光量に本質的な制限がある．最近我々は，フィルタの代替として高効率な色分離機能をもつメタレンズを実証し，高感度なフィルタフリー・カラーイメージセンサの実現性を示した．一方，実験実証は光学顕微鏡を用いた疑似的なセンサでのみ行われていた．今回，メタレンズをセンサへ直接実装し，メタレンズ集積センサを初めて作製したので報告する．