[24a-F307-1~8] 6.4 薄膜新材料

[24a-F307-4] Krスパッタと最下層挿入によるAg多層膜の電気抵抗率低減

〇水越 光司^1,2、山村 剛史³、冨岡 泰宏³、川村 みどり¹ (1.北見工大、2.YKK AP、3.YKK)

キーワード：銀、低放射膜、スパッタリング