2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[24p-D114-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

2022年3月24日(木) 13:00 〜 16:15 D114 (D114)

北嶋 武(防衛大)、田中 学(九大)

13:00 〜 13:30

[24p-D114-1] [分科内招待講演] 半導体ナノ粒子のプラズマ合成と水素生成光触媒への応用

〇本多 謙介1 (1.山口大院創成科学)

キーワード:アモルファスシリコンカーバイドナノ粒子、プラズマCVD合成、水素生成光触媒

本講演では、光学ギャップ可変かつ粒子サイズ可変なa-SiC半導体ナノ粒子の局所集中プラズマCVD法による作成手法とa-SiC半導体ナノ粒子の水素生成光触媒への応用例について解説する。