[24p-D316-1~11] 1.3 新技術・複合新領域

[24p-D316-3] 2層コロイド結晶を用いたMetal-Insulator-Metalナノディスク構造の作製

〇(M2)立花 綾¹、佐藤 美那²、松谷 晃宏²、望月 泰英¹、磯部 敏宏¹、中島 章¹、松下 祥子¹ (1.東工大物質理工、2.東工大OFC)

キーワード：プラズモン、コロイド結晶

入射光の電場と共鳴し、金属表面の自由電子が集団振動を起こす現象を表面プラズモン共鳴と呼ぶ。本共鳴は金属粒子サイズ、形状、粒子間距離などに依存し、そのデバイスの多くはリソグラフィーにより作製される。本研究では2層ポリスチレン粒子コロイド結晶に酸素プラズマエッチングを施すことにより、ポリスチレン粒子間に規則的な隙間を形成し、そこにプラズモン共鳴が生じるAu -SiO２-Auナノディスクの作製を検討した。