[24p-D316-1~11] 1.3 新技術・複合新領域

[24p-D316-6] ALD法によるAl₂O₃薄膜の熱水処理で形成したナノ構造の試作と評価

〇禹 泰圭¹、辻 祐樹¹、林 翔平¹、前田 讓治¹、板谷 太郎²、天野 建² (1.東理大、2.産総研)

キーワード：原子層堆積法、酸化アルミニウム、無反射

原子層堆積法によって成膜されたAl₂O₃膜を熱水処理することでナノ構造が形成され、反射率の低減が確認された。