[24p-E106-1~18] 3.7 Laser processing

[24p-E106-11] Formation of novel nanostructures on crystalline silicon surface using GHz burst mode femtosecond laser

〇(B)Shota Kawabata^1,2, Kotaro Obata¹, Shi Bai¹, Godai Miyaji², Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP, 2.Tokyo Univ. of Agriculture and Tech.)

Keywords:LIPSS, GHz burst mode, femtosecond laser

近年、パルス間隔が数百psの超短パルス列から成るGHzバーストモードフェムト秒レーザーは、高品質・高効率の材料加工への応用が期待されている。本研究では、特異な加工特性を提供するGHzバーストモードフェムト秒レーザー加工をレーザー誘起表面周期構造(LIPSS)形成へと拡張し、シングルモードレーザーで形成したLIPSSとの比較を行うことにより、新しい表面ナノ周期構造形成の可能性を検討した。