[24p-E106-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[24p-E106-3] 二色フェムト秒パルスレーザーによる半導体の光吸収

〇谷 水城¹、佐々木 翔¹、篠原 康¹、石川 顕一¹ (1.東大院工)

キーワード：フェムト秒加工、光吸収

超短パルスレーザーを二色混ぜて非金属材料に照射すると単色の場合よりもアブレーション効率が増大するという実験の報告が複数ある。時間依存密度汎関数理論を用いて、二色フェムト秒パルスレーザー下の半導体の光エネルギー吸収量を評価し、単色の場合と比べて混色の場合には光吸収がどのように変化するかを明らかにする。