[24p-E203-1~16] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

△ [24p-E203-10] SESSAを生成モデルに用いた多元素XPSスペクトル解析に向けたベイズ推定

〇町田 惇¹、永田 賢二²、村上 諒³、篠塚 寛志²、庄野 逸³、吉川 英樹²、岡田 真人^1,2 (1.東大、2.NIMS、3.電通大)

キーワード：データ駆動科学、ベイズ統計

XPSは物質の表面分析で広く使われている測定手法であるが，その分析にはしばしば解析者の経験に基づく解析が必要とされるなどの課題があった．先行研究では，この課題を解決する手法としてXPS解析におけるベイズ推定手法が提案された．本研究では，さらに先行研究における生成モデルを近似式からシミュレータSESSAに置き換えることで，試料に対し，層構造を設定し，膜厚などのパラメータも推定できるようにした．