[24p-E204-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[24p-E204-2] アモルファス炭素膜中のsp²結合炭素の秩序

神田 一浩¹、新部 正人¹、馬田 直樹²、平田 祐樹²、大竹 尚登²、〇赤坂 大樹² (1.兵庫県大、2.東工大)

キーワード：アモルファス炭素膜、sp2結合炭素

3種の原料からアモルファス炭素膜を作製し，XASスペクトルの入射角度依存性を評価した結果，膜内にsp²結合炭素の構造秩序が存在し，原料により，その分布が変化する事が示唆された．