[24p-E204-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[24p-E204-4] 大電力パルススパッタを用いたプラスチック基板上への水素フリーDLC成膜

〇太田 貴之¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、大電力パルススパッタ