[24p-E302-1~16] CS.9 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物（SiC）のコードシェアセッション

[24p-E302-14] 4H-SiC/SiO₂界面での窒素酸化物およびアンモニアの反応機構の理論的検討

〇秋山 亨¹、清水 紀志¹、伊藤 智徳¹、影島 博之²、白石 賢二³ (1.三重大院工、2.島根大自然科学、3.名大未来研)

キーワード：化合物、第一原理計算、POA