[24p-E304-1~10] 二次元材料を集積回路に！

[24p-E304-10] 二次元材料を集積回路に！

〇松木 武雄¹、長汐 晃輔²、吹留 博一³、若林 整⁴、飯塚 貴弘⁵、蓮沼 隆⁶、曽根 純一⁷ (1.産総研、2.東大、3.東北大、4.東工大、5.広大、6.筑波大、7.科学技術振興機構)

キーワード：二次元層状物質、二次元材料、大規模集積回路

3次元方向の積層技術も含めてシリコン集積回路の集積化は進行中であり、技術世代2nm程度までロードマップが示されている。一方、更なる集積回路素子の微細化・集積化にむけて、2次元層状物質が提案されたが、その集積回路素子化技術は、社会実装される域に達していない。本パネルディスカッションでは、その集積回路化に向けた研究の過去、現在・課題、そして未来を材料研究からコンパクトモデルなど多様な見地から議論をします。