[24p-F408-1~11] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[24p-F408-4] RFマグネトロン共スパッタリング法によるSiC添加SiO_x系薄膜の作製と光吸収および発光スペクトルの評価

〇中村 昂雅¹、小野 恒義¹、勝俣 裕¹ (1.明大理工)

キーワード：量子サイズ効果、ナノ粒子、バンドギャップ