2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[25a-E103-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2022年3月25日(金) 09:30 〜 12:00 E103 (E103)

曽根 正人(東工大)、山根 大輔(立命館大)

09:30 〜 09:45

[25a-E103-1] Au単結晶の微小カンチレバーの機械的特性における断面形状依存性

〇保里 亮平1、藤田 一矢1、陳 君怡1、Chang Tso-Fu Mark1、伊藤 浩之1、町田 克之1、三宅 美博1、曽根 正人1 (1.東工大)

キーワード:サンプルサイズ効果