[25a-E103-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [25a-E103-1] Au単結晶の微小カンチレバーの機械的特性における断面形状依存性

〇保里 亮平¹、藤田 一矢¹、陳 君怡¹、Chang Tso-Fu Mark¹、伊藤 浩之¹、町田 克之¹、三宅 美博¹、曽根 正人¹ (1.東工大)

キーワード：サンプルサイズ効果