[25a-E103-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [25a-E103-4] 高感度MEMSセンサモジュールのためのデバイス評価

〇内山 晃宏¹、柴田 滉平¹、大西 哲¹、町田 克之¹、緒方 大樹¹、石原 昇¹、内富 寛隆¹、TSO-FU CHANG¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大)

キーワード：MEMS加速度センサ、ノイズ特性、昇温脱離方法

当研究室では、筋音計測のための高感度MEMSセンサモジュールの検討をおこなっている。本研究では、高感度MEMSセンサモジュールのノイズ特性を評価し、そのときに発生した低周波領域でのドリフトと推定される現象について原因と抑制方法について報告する。ドリフトが水に起因すると考え、TPDによるMEMSデバイスからの水の挙動を調べた。その結果，水がドリフトに関連している可能性を確認し，ドリフト現象の改善の手法の見通しを得られた。