[25a-E103-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [25a-E103-6] 自己組織化エレクトレットを用いたMEMS振動発電素子の検討

〇(BC)杉本 澪貴¹、川島 康介²、栢口 英之³、石井 久夫^3,4,5、田中 有弥^3,4、山根 大輔^1,2 (1.立命館大、2.立命館大院理工、3.千葉大院融合、4.千葉大先進、5.千葉大MCRC)

キーワード：MEMS、環境振動発電素子