[25a-E103-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [25a-E103-7] 計測応用に向けたプラスチック光ファイバ表面の微細加工技術の検討

〇(B)堀 裕貴¹、李 ひよん²、水野 洋輔³、山根 大輔¹ (1.立命館大、2.芝浦工大、3.横浜国大)

キーワード：プラスチック光ファイバ、微細加工