[25a-E202-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[25a-E202-5] ミストCVDによるZnOナノ粒子分散(Ga,Al)₂O₃薄膜の作製

〇矢ケ崎 司¹、奈良 俊宏¹、田中 京輔¹、伊藤 里樹¹、光野 徹也^1,2、小南 裕子^1,2、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大総合研、2.静岡大創科院、3.静岡電子研)

キーワード：ミストCVD、酸化ガリウム