[25a-E205-1~9] 12.1 作製・構造制御

[25a-E205-3] 2液供給型静電スプレー堆積法を用いて作製した
PMMA/TIPS pentaceneブレンド膜の逆垂直相分離

〇(M2)石 仕駿¹、金子 蒼¹、重森 海里¹、佐野 哲平¹、小野島 紀夫¹ (1.山梨大工)

キーワード：有機電界効果トランジスタ、垂直相分離、静電スプレー堆積法

今回は，従来のTIPS pentacene/PMMAブレンド膜の垂直相分離構造を変化させ2液供給型ESD法を用いてPMMAを上層に偏析し，パッシベーション層としてTIPS pentaceneを保護する逆相分離構造を作製した．