[25a-F307-1~8] 6.4 薄膜新材料

[25a-F307-8] LaH_xエピタキシャル薄膜における電気伝導と光学特性の膜厚依存性

〇浦本 菫野¹、河底 秀幸¹、福村 知昭^1,2 (1.東北大学、2.東北大WPI-AIMR&CRC)

キーワード：希土類金属水素化物、半導体、反応性スパッタリング