[25a-P05-1~3] 15.1 バルク結晶成長

[25a-P05-1] 混晶バルクSiGe結晶の赤外屈折率及び吸収特性

〇荒井 康智¹、椿 浩二²、片野 佳文²、内田 茂樹² (1.宇宙機構、2.トプコン)

キーワード：シリコンゲルマニウム結晶、赤外線

全率固溶体の混晶SiGe結晶は、屈折率がSi（3.4）かGe（4.0）まで連続的に変化するため、屈折率選択範囲が広く10µm帯の赤外線レンズ材料として有望である。しかし、SiGe結晶はバルクサイズでの組成制御の困難であり赤外物性計測も殆どなされていない。本講演では、バルクSiGe結晶の赤外吸収特性、屈折率、格子間酸素吸収ピークを解析し、SiGe結晶の赤外線レンズへの応用を検討した結果を報告する。