[25a-P05-1~3] 15.1 バルク結晶成長

[25a-P05-3] 高濃度B添加CZ-Si結晶育成における組成的過冷却発生部位の理論的検証

〇(M1)福井 勇希¹、細田 勝太¹、太子 敏則¹、渡辺 雄太²、刈谷 宣政² (1.信大工、2.エム・セテック)

キーワード：結晶成長