[25p-D114-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[25p-D114-10] トレンチ埋め込みSi上Ge層における格子ひずみの影響

〇加藤 滉大¹、Bin Amin Mohd Faiz¹、Jose A. Piedra-Lorenzana¹、飛沢 健¹、中井 哲弥²、石川 靖彦¹ (1.豊橋技術科学大学、2.(株)SUMCO)

キーワード：Ge、トレンチ埋め込み成長