2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[25p-D114-1~16] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2022年3月25日(金) 13:00 〜 17:15 D114 (D114)

有元 圭介(山梨大)、牧原 克典(名大)

16:30 〜 16:45

[25p-D114-14] Si-on-quartzウエハ上ひずみGe層の近赤外吸収特性

〇葛谷 樹矢1、飛沢 健1、石川 靖彦1 (1.豊橋技科大)

キーワード:Ge、格子ひずみ、CVD