2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[25p-D114-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2022年3月25日(金) 13:00 〜 17:15 D114 (D114)

有元 圭介(山梨大)、牧原 克典(名大)

17:00 〜 17:15

[25p-D114-16] 歪みSi/緩和 SiGe/Si(110)ヘテロ構造p-MOSFETの高正孔移動度化とリーク電流の低減

〇藤澤 泰輔1、各川 敦史1、堀内 未希1、坂田 千尋1、山中 淳二1、原 康祐1、澤野 憲太郎2、中川 清和2、有元 圭介1 (1.山梨大工、2.東京都市大総研)

キーワード：歪みSi、p-MOSFET、電気伝導特性