[25p-D114-1~16] 15.5 Group IV crystals and alloys

[25p-D114-2] Control of Surface Morphology and Crystalline Phase of Ultra-thin NiGe Films on SiO₂

〇(M1)Shunsuke Nishimura¹, Noriyuki Taoka¹, Akio Ohta¹, Katsunori Makihara¹, Seiichi Miyazaki¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:ultra-thin films, NiGe

近年、金属を数nm以下まで薄膜化した金属ナノシートの電界効果による抵抗変調や触媒反応を利用した分子センサ応用が報告されており、金属ナノシートの物性を利用した新たなデバイスに注目が集まっている。しかし、数nm膜厚の金属では酸化や凝集の影響から表面形態や結晶相を制御することは困難である。本研究では、NiGeに着目し、NiとGeの膜厚および堆積後の合金化熱処理が表面形態や結晶相に与える影響について調べた。