2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.2 グラフェン

[25p-E102-1~19] 17.2 グラフェン

2022年3月25日(金) 13:30 〜 18:30 E102 (E102)

小川 新平(三菱電機)、中払 周(物材機構)

14:00 〜 14:15

[25p-E102-3] 多層グラフェン-アモルファスカーボン複合膜の成膜

〇渡辺 純1、清水 哲夫2、久保 利隆2 (1.矢崎総業、2.産総研)

キーワード:グラフェン

多層グラフェンの端を強度の高いアモルファスカーボンで固定した構造の複合膜の作製を目指し、成膜法の検討を行った。成膜した複合膜について構造や特性の評価について報告を行う。