[25p-E102-1~19] 17.2 グラフェン

[25p-E102-3] 多層グラフェン-アモルファスカーボン複合膜の成膜

〇渡辺 純¹、清水 哲夫²、久保 利隆² (1.矢崎総業、2.産総研)

キーワード：グラフェン

多層グラフェンの端を強度の高いアモルファスカーボンで固定した構造の複合膜の作製を目指し、成膜法の検討を行った。成膜した複合膜について構造や特性の評価について報告を行う。