[25p-E104-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[25p-E104-17] マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成におけるプロセス圧力の影響

〇伊藤 拓望¹、垣内 弘章¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド、マイクロ波プラズマ

我々は、廉価な固体炭素原料から高品質工業用ダイヤモンドを、水素プラズマ化学輸送法により合成することを目指している。これまでの研究から、本手法においては、プラズマの高電力密度化と適切なメタン濃度の維持が重要であることがわかっている。今回、膜のさらなる高品質化を目指して、プロセス圧力が膜構造に与える影響を調査した。その結果、適切な圧力を見いだすことで、形成されるダイヤモンドの結晶性の向上に成功した。