[25p-E104-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [25p-E104-18] 面放電型マイクロ電極アレイプラズマデバイスの表面温度の周波数依存性

〇今中 海舟¹、真鍋 義人¹、白藤 立¹、呉 準席¹ (1.大阪市大工)

キーワード：プラズマ、シクロオレフィンポリマー、温度

大気圧プラズマを用いた材料プロセスは，材料表面改質の向上や高分子液体材料の構造の制御などを簡便に実現出来ることで近年注目が集まっている．本報では，市販の櫛型マイクロ電極構造体を用いて，大気圧ヘリウムプラズマの周波数の電極表面温度変化を調べた．その結果, 電極表面温度は周波数の増加と伴い増加することが確認され，7分以内に対しては80 ℃以下で表面処理が可能であることが分かった．