[25p-E104-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[25p-E104-20] 水素プラズマによるマグネシウム系材料の水素化及び還元処理

〇長坂 政彦¹、内山 晃臣¹、芳賀 康孝¹、紅林 亮平²、岸 真夏²、鈴村 こころ²、荻野 明久² (1.新東工業、2.静大院工)

キーワード：水素プラズマ、マグネシウム系材料、MgH2

マグネシウム系材料を攪拌しつつ、水素プラズマによって水素化及び還元処理した際の反応について検討した。結果、イオン飽和電流密度が比較的高いと思われる条件下、かつ、これまで報告されてきた処理時間よりも短時間で水素化及び還元処理が進んだ。攪拌による試料表面の過熱防止効果によるものと考えられる。