[25p-E104-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [25p-E104-9] sp結合ナノネットワーク構造変化に起因する窒化ホウ素膜特性遷移の解析

〇濱野 誉^1,5、松田 崇行¹、朝本 雄也¹、野間 正男²、長谷川 繁彦³、山下 満⁴、占部 継一郎¹、江利口 浩二¹ (1.京大院工、2.神港精機、3.阪大産研、4.兵庫県立工技センター、5.学振特別研究員DC)

キーワード：窒化ホウ素膜、ナノネットワーク構造、電気的特性

窒化ホウ素（BN）は，種々の微視的構造（sp結合ナノネットワーク構造）をとりうる特異な材料である．幅広い応用が期待される高機能BN膜の作製には，sp結合状態の変化に伴う物理特性遷移の包括的理解が不可欠である．本研究では成膜時の入射イオンエネルギーを制御することで，異なるナノネットワーク構造を有するBN膜を作製し，光学的および電気的特性の遷移過程を詳細に解析した．