[25p-E202-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [25p-E202-12] m 面サファイア上α-Ga₂O₃におけるキャリア輸送特性と転位による影響

〇(M2)高根 倫史¹、泉 宏和²、若松 岳¹、田中 勝久¹、金子 健太郎¹ (1.京大院工、2.兵庫県立工業技術センター)

キーワード：酸化ガリウム、キャリア輸送

サファイア上α-Ga₂O₃では約10¹⁰ cm^-2の転位が存在するが，これらの電気特性への影響は不明である．本研究では，異なるキャリア密度のα-Ga₂O₃に対して温度依存Hall測定を行い，キャリア輸送特性を解析した．非縮退のα-Ga₂O₃では，キャリア輸送に対して転位散乱が支配的に影響を与える一方で，縮退した場合では，イオン化不純物散乱が支配的となり，転位散乱の影響が小さくなることが分かった．