2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[25p-E203-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年3月25日(金) 13:30 〜 18:15 E203 (E203)

荒木 努(立命館大)、菊池 昭彦(上智大)、小田 将人(和歌山大)

14:45 〜 15:00

[25p-E203-6] スパッタ法によるN極性GaN薄膜のn型伝導性制御と素子応用

〇増田 裕介1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東大生研)

キーワード:GaN、N極性、スパッタリング