2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[25p-E203-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年3月25日(金) 13:30 〜 18:15 E203 (E203)

荒木 努(立命館大)、菊池 昭彦(上智大)、小田 将人(和歌山大)

15:00 〜 15:15

[25p-E203-7] 電子移動度トランジスタに向けたN面AlGaN/AlNの結晶成長とデバイス試作

〇松村 航1、You Lu1、安高 和哉1、松田 駿佑1、花咲 光基1、稲原 大輔1、姚永 昭2、石川 由加里2、倉井 聡1、岡田 成仁1、山田 陽一1、只友 一行1 (1.山口大院創成科、2.ファインセラミックスセンター)

キーワード:N-polar AlN、MOVPE