[25p-E305-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

[25p-E305-12] PZT薄膜アクチュエータからPZT薄膜変位センサへのノイズ伝播の解析

〇山本 泰之¹、松本 壮平¹、岡本 友貴¹、一木 正聡¹、小林 健¹ (1.産総研)

キーワード：圧電体薄膜、クロストークノイズ、浮遊容量

シリコンMEMSデバイスのPZT薄膜アクチュエータから，駆動信号がPZT薄膜変位センサへリークするクロストーク現象の，伝播ルートを回路解析によって明らかにした。発案した解決策を，実験的に検証し，クロストークノイズを大幅に低減することに成功した。