[25p-E305-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

[25p-E305-17] PBW による強誘電体材料の直接パターニング

〇平出 惇¹、山﨑 美沙¹、山口 正樹¹、木村 秀夫² (1.芝浦工大、2.煙台大学)

キーワード：強誘電体、PBW、次世代リソグラフィ光源

本研究では，新規リソグラフィ光源として期待される集束プロトンビームを用いて，
強誘電体材料の直接パターニングに関する検討を行った．
市販のEMOD溶液を用いたチタン酸ビスマス薄膜において，熱的な効果を抑えた，
電子線よりも高い感度での描画が実現できることを確かめた．