[25p-E307-1~15] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

△ [25p-E307-14] FOWLPによるフォトバイオモジュレーション用FHEデバイスの開発

〇星 匡朗¹、小田島 輩²、煤孫 祐樹²、荒山 俊亮¹、木野 久志³、田中 徹^2,3、福島 誉史^2,3 (1.東北大工、2.東北大院工、3.東北大院医工)

キーワード：PDMS、ハイドロゲル、フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス

硬い単結晶半導体チップを柔軟な有機基板と融合した高性能フレキシブルデバイスの創出に資するフレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス（FHE）に関する研究が注目されている。本発表は、FOWLPを用いて小型チップを基板に内蔵した新構造FHEを扱う。今回、微小な近赤外光LEDチップを用い、ハイドロゲル基板にChip-last法、三次元構造のPDMS基板にChip-first法と呼ぶそれぞれに適したFOWLPを採用し、フォトバイオモジュレーション用のデバイスを試作した。