2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[25p-E307-1~15] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2022年3月25日(金) 13:30 〜 17:30 E307 (E307)

百瀬 健(東大)、杉浦 修(千葉工大)

17:00 〜 17:15

[25p-E307-14] FOWLPによるフォトバイオモジュレーション用FHEデバイスの開発

〇星 匡朗1、小田島 輩2、煤孫 祐樹2、荒山 俊亮1、木野 久志3、田中 徹2,3、福島 誉史2,3 (1.東北大工、2.東北大院工、3.東北大院医工)

キーワード:PDMS、ハイドロゲル、フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス

硬い単結晶半導体チップを柔軟な有機基板と融合した高性能フレキシブルデバイスの創出に資するフレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス(FHE)に関する研究が注目されている。本発表は、FOWLPを用いて小型チップを基板に内蔵した新構造FHEを扱う。今回、微小な近赤外光LEDチップを用い、ハイドロゲル基板にChip-last法、三次元構造のPDMS基板にChip-first法と呼ぶそれぞれに適したFOWLPを採用し、フォトバイオモジュレーション用のデバイスを試作した。