[25p-F307-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [25p-F307-1] タッチパネルディスプレイ用Al添加Ag-Fe-O系耐熱黒色絶縁膜の開発

〇(DC)山口 実奈¹、石井 暁大¹、及川 格¹、山崎 雄亮²、伊村 正明²、高村 仁¹ (1.東北大院工、2.日本電気硝子)

キーワード：光学薄膜、ナノ複合体、透明導電体

タッチパネルディスプレイの意匠性と視認性の向上のため、強く等強度な可視光吸収と高い電気抵抗を有する黒色絶縁薄膜の開発が求められている。既報の黒色絶縁Ag-Fe-O膜は耐熱性が乏しく、高温デバイスへの応用や積層薄膜作製時の高温プロセスの使用が困難となっていた。本研究では、Ag-Fe-O薄膜にAlを添加することで500ºC以上の耐熱性を有する黒色絶縁膜を開発し、その特性をDFT計算と併せて考察した。