[25p-F307-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [25p-F307-7] 赤外レーザー蒸着法によるペロブスカイト水素化物BaLiH₃薄膜合成

〇(B)福士 英里香¹、風間 敦夫¹、宗房 幸太¹、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工)

キーワード：水素化物、ペロブスカイト、エピタキシャル

水素化物は水素に由来する特殊な物性を発現し得る化合物である。よって、化学置換で水素化物の物性を制御・創出できれば、新しいエレクトロニクスデバイスの開発が期待される。そこで、化学置換の実績が豊富なペロブスカイト構造をとる水素化物に着目した。しかし、ペロブスカイト水素化物の薄膜合成例は皆無である。本研究では、ペロブスカイト水素化物であるBaLiH₃薄膜合成に挑戦するとともに、その合成の困難さについても検証した。