3:45 PM - 4:00 PM
△ [25p-F307-9] Evaluation of LiBH4 Epitaxial Films Synthesized using Silicon as an IR absorber for Infrared Laser Evaporation
Keywords:Solid electrolyte
錯体水素化物LiBH4は伝導率が10-3 S cm-1を超える優れたLiイオン伝導特性を示すために、全固体Li電池の固体電解質としての応用が期待されている。そして最近では、薄膜型全固体Li電池の開発に向けて、赤外レーザー蒸着法を用いたLiBH4薄膜合成が報告されている。これまでのLiBH4薄膜合成では、原料であるLiBH4ターゲットに赤外吸収剤として炭素Cを混ぜていたが、この炭素が薄膜へ混入しやすいだけでなく、膜表面を高密度に覆う直径10 µm程度のドーム状の島が生じる原因となっていた。そこで本研究では、赤外吸収剤をCからシリコンSiに変更し、不純物混入度合いが少なく平坦な薄膜を合成することを目指した。