[25p-P01-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[25p-P01-19] 透明アンテナ用ITO導電膜のシート抵抗と放射効率の膜厚依存性

〇山田 友里¹、越地 福朗¹、安田 洋司¹、山田 勝実¹、内田 孝幸¹ (1.東京工芸大学)

キーワード：ITO導電膜