[26a-E102-1~6] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

△ [26a-E102-2] Effects of NO₂ Gas Adsorption to CNT/Electrode Contacts on CNT-FET Gas Sensor Response

〇Shota Nakahara¹, Takahiro Morita¹, Takuya Okamoto¹, Haruka Omachi², Masafumi Inaba¹, Michihiko Nakano¹, Junya Suehiro¹ (1.Kyushu Univ., 2.Nagoya Univ.)

Keywords:carbon nanotube, gas sensor, nitrogen dioxide

カーボンナノチューブ（CNT）は酸化性ガスや還元性ガスに暴露することで、コンダクタンスが増加/減少することが知られている。 一方で、そのメカニズムは十分には明らかになっていない。NO₂暴露による変化として、①V_GS 正方向に推移していく応答、②V_GS 正の領域で傾きが低下する応答が見られる。本研究では電界効果トランジスタ型CNTガスセンサのNO₂暴露によるI_DS-V_GS特性の変化から、その応答メカニズムについて考察した。