[26a-E103-1~9] 13.3 絶縁膜技術

[26a-E103-6] SiN_x膜の膜質に及ぼすスパッタガス圧力，Ar/N₂比及びSi添加の影響

〇松田 朋大¹、城所 拓海¹、勝俣 裕¹ (1.明大理工)

キーワード：半導体固体電池、ナノ粒子、膜剥がれ