株柳翔一

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座長等

2022年3月26日(土) 09:00 〜 11:30 E103 (E103)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.3 絶縁膜技術

[26a-E103-1~9] 13.3 絶縁膜技術

小林清輝(東海大)、株柳翔一(キオクシア)

2022年3月24日(木) 13:30 〜 17:00 E105 (E105)

一般セッション(口頭講演)
| CS コードシェアセッション
| 【CS.5】 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

[24p-E105-1~13] CS.5 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

清水荘雄(NIMS)、株柳翔一(キオクシア)