[26a-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[26a-E104-3] ANN原子間ポテンシャルによるSi結晶中の大規模有限サイズ拡張格子欠陥の形成エネルギー予測

〇野田 祐輔¹、大櫃 万聖²、横井 達矢³、神山 栄治¹、後口 拓登²、永倉 大樹²、末岡 浩治¹ (1.岡山県大情報工、2.岡山県大院情報系工、3.名古屋大院工)

キーワード：シリコン、第一原理計算、原子間ポテンシャル

本研究では，人工ニューラルネットワーク（ANN）原子間ポテンシャルを用いて，Si結晶中の大規模な有限サイズ拡張格子欠陥（EID）のエネルギー的安定性を系統的に評価した．コンパクトクラスター，(311)rod-like欠陥，Frank-loop欠陥の形成エネルギーを比較し，大規模EIDとしてFrank-loop欠陥が優先的に形成されることを理論的に明らかにした．