[26a-E202-1~9] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[26a-E202-2] Analyses of Band Alignment in Rocksalt-structured MgZnO/MgO Interface

〇Masaki Matsuda¹, Kotaro Ogawa², Yuichi Ota³, Tomohiro Yamaguchi¹, Kentaro Kaneko⁴, Shizuo Fujita⁴, Tohru Honda¹, Takeyoshi Onuma¹ (1.Kogakuin Univ., 2.ORC Manu., 3.TIRI, 4.Kyoto Univ.)

Keywords:MgZnO, band alignment, mist CVD

MgO (100)基板上にMgZnOをミストCVD法により成膜し、X線光電子分光法による岩塩構造Mg_xZn_1-xO/MgOのバンドアライメント解析を行った。前駆体溶液中の物質量比[Mg] : [Zn]=8 : 2の試料では、先行研究において光学測定から求めたバンドギャップエネルギーより伝導帯バンドオフセットは1.11 eVとなり、バンドアライメントはタイプⅠであることが分かった。